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AudioDev 仕様一覧

Xelas

Xelas モデル: RT-UV Xelas モデル: RT-VIS
システム UV-VIS(反射・透過) VIS(反射・透過)
スペクトロメーター
使用波長帯域 320nm-800nm 380nm-1050nm
検出器 Siラインダイオード(512ピクセル) Siラインダイオード(512ピクセル)
理論解像度 0.9nm 1.3nm
光学解像度 3.6nm 5.2nm
波長精度 ±0.35nm ±0.5nm
デジタル化 16-bit 16-bit
ファイバー接続 線形配列 線形配列
 通信 LAN LAN
測定仕様
膜厚測定範囲 2nm-2000nm 2nm-2000nm
膜厚測定精度 ±0.5nm(厚み 2nm-40nm)
±1.0nm(厚み 40nm-200nm)
±2.0nm(厚み 200nm-500nm)
±5.0nm(厚み 500nm-2000nm)
±0.5nm(厚み 2nm-40nm)
±1.0nm(厚み 40nm-200nm)
±2.0nm(厚み 200nm-500nm)
±5.0nm(厚み 500nm-2000nm)
膜厚測定繰り返し精度 3σ < 0.1nm (厚み 2nm-200nm)
3σ < 0.2nm (厚み 200nm-500nm)
3σ < 0.5nm (厚み 500nm-2000nm)
3σ < 0.1nm (厚み 2nm-200nm)
3σ < 0.2nm (厚み 200nm-500nm)
3σ < 0.5nm (厚み 500nm-2000nm)
サンプル要求位置精度(傾き) ± 0.4° ± 0.4°
サンプル要求位置精度(高さ) ± 1.5mm ± 1.5mm
屈折率測定範囲 0.01 – 10.0 0.01 – 10.0
屈折率測定精度 ±0..02 (OLED, 絶縁膜)
±0..03 (ITO, TCO, 金属膜)
±0..02 (OLED, 絶縁膜)
±0..03 (ITO, TCO, 金属膜)
屈折率測定繰り返し精度 3σ < 0.01 3σ < 0.01
光源
光源 キセノンランプ ハロゲンランプ
波長 多色 / 色温度 6000K 多色 / 色温度 3000K
耐用期間 >2,000 時間 >2,000 時間
筐体
寸法(幅×奥行×高さ) 449 × 376 × 317mm 471 × 317 × 166 mm
電源 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ) 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ)
光ファイバーケーブル
種類 クォーツファイバー, UVタイプ クォーツファイバー, UVタイプ
コア径 0.6mm + バンドル 7×0,3mm 0.6mm + バンドル 7×0,3mm
長さ 2.0 – 10.0m 2.0 – 10.0m
カバー プレミアムグレードステンレススチールチューブ プレミアムグレードステンレススチールチューブ
ファイバー接続方式 SMA905 / 線形配列 SMA905 / 線形配列
曲半径(短期間) >50mm >50mm
曲半径(長期間) >100mm >100mm
測定ヘッド
測定ヘッド Xelas-RT Xelas-RT
測定スポットサイズ ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲) ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲)

 

TCM(VIS)

TCM モデル: R-VIS TCM モデル: R-700nm_940nm
システム VIS(反射) High-Resolution VIS(反射)
スペクトロメーター
使用波長帯域 380nm-1050nm 760nm-940nm
検出器 Siラインダイオード(512ピクセル) Siラインダイオード(512ピクセル)
理論解像度 1.3nm 0.35nm
光学解像度 5.2nm 1.05nm
波長精度 ±0.5nm ±0.14nm
デジタル化 16-bit 16-bit
ファイバー接続 SMA905 SMA905
 通信 LAN LAN
測定仕様
膜厚測定範囲 0.1μm-20μm/td> 4μm-120μm
膜厚測定精度 ±0.01μm(厚み 0.1μm-1μm)
±0.05μm(厚み 1μm-20μm)
±0.1μm(厚み 4μm-30μm)
±0.3μm(厚み 30μm-120μm)
膜厚測定繰り返し精度 3σ < 0.001μm(厚み 0.1μm-1μm)
3σ < 0.005μm(厚み 1μm-20μm)
3σ < 0.005μm(厚み 4μm-30μm)
3σ < 0.015μm(厚み 30μm-120μm)
サンプル要求位置精度(傾き) ± 0.4° ± 0.4°
サンプル要求位置精度(高さ) ± 1.5mm ± 1.5mm
屈折率測定範囲
屈折率測定精度
屈折率測定繰り返し精度
光源
光源 ハロゲンランプ ハロゲンランプ
波長 多色 / 色温度 3000K 多色 / 色温度 3000K
耐用期間 >2,000 時間 >2,000 時間
光源
寸法(幅×奥行×高さ) 471 × 317 × 166 mm 471 × 317 × 166 mm
電源 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ) 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ)
光ファイバーケーブル
種類 Y-クォーツファイバー, UVタイプ Y-クォーツファイバー, NIRタイプ
コア径 2x 0,4mm 2x 0,4mm
長さ 2.0 – 10.0m 2.0 – 10.0m
カバー プレミアムグレードステンレススチールチューブ プレミアムグレードステンレススチールチューブ
ファイバー接続方式 SMA905 / 線形配列 SMA905 / 線形配列
曲半径(短期間) >25mm >25mm
曲半径(長期間) >50mm >50mm
測定ヘッド
測定ヘッド MK head MK head
測定スポットサイズ ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲) ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲)

 

TCM(NIR)

TCM モデル: R-NIR TCM モデル: R-1500nm_1600nm
システム NIR(反射) High-Resolution NIR(反射)
スペクトロメーター
使用波長帯域 850nm-1700nm 1500nm-1600nm
検出器 InGaAsラインダイオード(256ピクセル) InGaAsラインダイオード(256ピクセル)
理論解像度 3.3nm 0.4nm
光学解像度 9.9nm 1.2nm
波長精度 ±1nm ±0.15nm
デジタル化 16-bit 16-bit
ファイバー接続 SMA905 SMA905
 通信 LAN LAN
測定仕様
膜厚測定範囲 1μm-30μm 15μm-350μm
膜厚測定精度 ±0.1μm ±0.1μm(厚み 15μm-100μm)
±0.3μm(厚み 100μm-350μm)
膜厚測定繰り返し精度 3σ < 0.005μm 3σ < 0.005μm(厚み 15μm-100μm)
3σ < 0.015μm(厚み 100μm-350μm)
サンプル要求位置精度(傾き) ± 0.4° ± 0.4°
サンプル要求位置精度(高さ) ± 1.5mm ± 1.5mm
屈折率測定範囲
屈折率測定精度
屈折率測定繰り返し精度
光源
光源 ハロゲンランプ ハロゲンランプ
波長 多色 / 色温度 3000K 多色 / 色温度 3000K
耐用期間 >2,000 時間 >2,000 時間
光源
寸法(幅×奥行×高さ) 471 × 317 × 166 mm 471 × 317 × 166 mm
電源 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ) 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ)
光ファイバーケーブル
種類 Y-クォーツファイバー, NIRタイプ Y-クォーツファイバー, NIRタイプ
コア径 2x 0,4mm 2x 0,4mm
長さ 2.0 – 10.0m 2.0 – 10.0m
カバー プレミアムグレードステンレススチールチューブ プレミアムグレードステンレススチールチューブ
ファイバー接続方式 SMA905 / 線形配列 SMA905 / 線形配列
曲半径(短期間) >25mm >25mm
曲半径(長期間) >50mm >50mm
測定ヘッド
測定ヘッド MK head MK head
測定スポットサイズ ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲) ≦1.0mm(光照射範囲は広範囲)

 

Metis

Metis モデル: RT-VIS Metis モデル: RT-360nm-900nm
システム VIS(反射・透過) VIS(反射・透過)
スペクトロメーター
使用波長帯域 380nm-1050nm 360nm-900nm
検出器 InGaAsラインダイオード(512ピクセル) InGaAsラインダイオード(512ピクセル)
理論解像度 1.3nm 1.1nm
光学解像度 5.2nm 4.4nm
波長精度 ±0.5nm ±0.42nm
デジタル化 16-bit 16-bit
ファイバー接続 線形配列 線形配列
 通信 LAN LAN
測定仕様
膜厚測定範囲 2nm – 2000nm 2nm – 2000nm
膜厚測定精度 ±0.5nm(厚み 2nm-40nm)
±1.0nm(厚み 40nm-200nm)
±2.0nm(厚み 200nm-500nm)
±5.0nm(厚み 500nm-2000nm)
±0.5nm(厚み 2nm-40nm)
±1.0nm(厚み 40nm-200nm)
±2.0nm(厚み 200nm-500nm)
±5.0nm(厚み 500nm-2000nm)
膜厚測定繰り返し精度 3σ < 0.1nm (厚み 2nm-200nm)
3σ < 0.2nm (厚み 200nm-500nm)
3σ < 0.5nm (厚み 500nm-2000nm)
3σ < 0.1nm (厚み 2nm-200nm)
3σ < 0.2nm (厚み 200nm-500nm)
3σ < 0.5nm (厚み 500nm-2000nm
サンプル要求位置精度(傾き) ± 1.5° ± 1.5°
サンプル要求位置精度(高さ) ± 5mm ± 5mm
屈折率測定範囲 0.01 – 10.0 0.01 – 10.0
屈折率測定精度 ±0..02 (OLED, 絶縁膜)
±0..03 (ITO, TCO, 金属膜)
±0..02 (OLED, 絶縁膜)
±0..03 (ITO, TCO, 金属膜)
屈折率測定繰り返し精度 3σ < 0.01 3σ < 0.01
光源
光源 ハロゲンランプ ハロゲンランプ + 2x UV-LED
波長 多色 / 色温度 3000K 多色 / 色温度 3000K
耐用期間 >2,000 時間 ハロゲン: > 2,000時間
LED : > 10.000時間
光源
寸法(幅×奥行×高さ) 471  x  317  x  166 mm 471  x  317  x  166 mm
電源 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ) 100-240Vac / 50-60Hze(オートレンジ)
光ファイバーケーブル
種類 クォーツファイバー, UVタイプ クォーツファイバー, UVタイプ
コア径 バンドル 10 x 0,2mm バンドル 10 x 0,2mm
長さ 2.0 – 10.0m 2.0 – 10.0m
カバー プレミアムグレードステンレススチールチューブ プレミアムグレードステンレススチールチューブ
ファイバー接続方式 SMA905 / 線形配列 SMA905 / 線形配列
曲半径(短期間) >25mm >25mm
曲半径(長期間) >50mm >50mm
測定ヘッド
測定ヘッド  Metis-RT Metis-RT
測定スポットサイズ ≦ 5.0mm(光照射範囲は広範囲) ≦ 5.0mm(光照射範囲は広範囲)