トップページソリューション 検査 膜厚評価装置(AudioDev GmbH)AudioDev 測定サンプル

AudioDev 測定サンプル

測定結果サンプル

カーブモデル(光学モデル)[赤い線]と実際に測定されたスペクトラム[青い線]を比較計算してカーブが合ったところで測定値とします。

 

有機膜

 

ITO

 

a-Si(アモルファスシリコン)

 

高屈折率膜

 

低屈折率膜

 

測定結果サンプル2

測定システム:Metis LAB
モデル:RT – 360nm_900nm
評価パラメーター:屈折率・消衰係数, 膜厚, 色度, 高精度透過・反射分光スペクトル
サンプル:ガラス基板上のアモルファスシリコン(α-Si)

 

測定システム:Metis LAB
モデル:T – 360nm_900nm
評価パラメーター:屈折率・消衰係数, 膜厚, 色度, 高精度反射・透過分光スペクトル
サンプル:ガラス基板上の窒化ケイ素 (SiN)

 

測定システム:Metis LITE
モデル:RT – 380nm_1050nm
評価パラメーター:膜厚, 高精度反射・透過分光スペクトル
サンプル:プライマー (20nm) – PET (100μm) – プライマー(60nm) –
ハードコート(1317nm) – 高屈折率層 (21nm) – 低屈折率層 (66nm)
三層膜厚測定(ハードコート, 高屈折率層, 低屈折率層)

 

測定システム:Metis LITE
モデル:RT – 380nm_1050nm
評価パラメーター:膜厚, 高精度反射・透過分光スペクトル
サンプル:プライマー (18nm) – PET (100μm) – プライマー(31nm) –
高屈折率層 (31nm) – 低屈折率層 (66nm)
四層膜厚測定(プライマー2層, 高屈折率層, 低屈折率層)